phase shift mask中文是什么意思

• 移相掩膜

• "phase"中文翻译    n. 1.形势，局面，状态；阶级。 2.方面，侧面。 3 ...
• "shift"中文翻译    vt. 1.变动；改变；搬移；移动；转移；变换；替换；更 ...
• "mask"中文翻译    n. 1.假面具，伪装，掩蔽物；面罩；防毒面具(＝ ga ...
• "phase shift mask (psm)" 中文翻译 :    移相掩膜
• "phase shift" 中文翻译 :    位移术; 相位差; 相位迁移; 相位位移；相位移转; 相位移动; 相移，移相; 相转变; 移相
• "shift phase" 中文翻译 :    相位位移; 相位转移
• "hue shift mask" 中文翻译 :    校正色偏蒙罩
• "photo-shift mask" 中文翻译 :    相位移光罩
• "absolute phase shift keying" 中文翻译 :    绝对相移键控
• "acoustic phase shift network" 中文翻译 :    声相移网络
• "allpass phase shift network" 中文翻译 :    全通相移网络
• "alternating phase shift masks" 中文翻译 :    交互相移掩模
• "amplitude-phase shift keying" 中文翻译 :    振幅移相键控
• "binary phase shift coding" 中文翻译 :    二进制相移编码
• "binary phase shift keying" 中文翻译 :    二进制相移键控; 二进制移相键控; 二相相移键控
• "binary phase-shift coding" 中文翻译 :    二进相移编号
• "binary phase-shift keying" 中文翻译 :    二进位相键移控法
• "biphase phase shift keying" 中文翻译 :    二相移相键控
• "biternary phase shift keyin" 中文翻译 :    双三进制移相键控
• "characteristic phase shift" 中文翻译 :    特征相移
• "coherent phase shift keying" 中文翻译 :    相干相移键控
• "coherent phase-shift keying" 中文翻译 :    相干相移键控制
• "compensating phase shift" 中文翻译 :    补偿相移
• "controlled phase shift gate" 中文翻译 :    受控相位偏移闸
• "correlative phase shift keying" 中文翻译 :    相关相移键控

• For the coordination of the contradictory , the wavefront technique has been regarded as an effective method to improve the image quality in photolithography by optimizing the image of the mask . it includes : pupil filtering , phase shift mask , off - axis illumination , optical proximity correction , and so on
  为了协调这种矛盾，利用波前工程来改善光刻图形的质量以提高光刻分辨率，已广泛地应用于光学光刻中，如：瞳孔滤波、相移掩模、离轴照明、光学邻近效应校正等。