phase shift mask中文是什么意思

• 移相掩膜

• phase    n. 1.形势，局面，状态；阶级。 2.方面，侧面。 3 ...
• shift    vt. 1.变动；改变；搬移；移动；转移；变换；替换；更 ...
• mask    n. 1.假面具，伪装，掩蔽物；面罩；防毒面具(＝ ga ...
• phase shift mask (psm)    移相掩膜
• phase shift    位移术; 相位差; 相位迁移; 相位位移；相位移转; 相位移动; 相移，移相; 相转变; 移相
• shift phase    相位位移; 相位转移
• hue shift mask    校正色偏蒙罩
• photo-shift mask    相位移光罩
• absolute phase shift keying    绝对相移键控
• acoustic phase shift network    声相移网络
• allpass phase shift network    全通相移网络
• alternating phase shift masks    交互相移掩模
• amplitude-phase shift keying    振幅移相键控
• binary phase shift coding    二进制相移编码
• binary phase shift keying    二进制相移键控; 二进制移相键控; 二相相移键控
• binary phase-shift coding    二进相移编号
• binary phase-shift keying    二进位相键移控法
• biphase phase shift keying    二相移相键控
• biternary phase shift keyin    双三进制移相键控
• characteristic phase shift    特征相移
• coherent phase shift keying    相干相移键控
• coherent phase-shift keying    相干相移键控制
• compensating phase shift    补偿相移
• controlled phase shift gate    受控相位偏移闸
• correlative phase shift keying    相关相移键控

• For the coordination of the contradictory , the wavefront technique has been regarded as an effective method to improve the image quality in photolithography by optimizing the image of the mask . it includes : pupil filtering , phase shift mask , off - axis illumination , optical proximity correction , and so on
  为了协调这种矛盾，利用波前工程来改善光刻图形的质量以提高光刻分辨率，已广泛地应用于光学光刻中，如：瞳孔滤波、相移掩模、离轴照明、光学邻近效应校正等。